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摘要:氧化铪薄膜因其优良的物理和化学性质,在电子、光学和微电子领域具有广泛的应用前景。本文主要探讨了氧化铪薄膜的应用及其前景展望。氧化铪薄膜的高介电常数和低漏电流特性使其成为理想的电容器材料,同时其在绝缘层、催化剂载...