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摘要:本文主要探究薄膜安规电容的主要失效模式。通过对薄膜安规电容的结构、工作原理及其在实际应用中的表现进行深入分析,总结出其主要失效类型,包括薄膜击穿、电极腐蚀、介质老化等。本文旨在为相关领域的研究者和工程师提供对薄...