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摘要:,,本文介绍了氧化物薄膜制备的技术、应用及展望。制备技术包括物理气相沉积、化学气相沉积、溶胶凝胶法等。这些技术在集成电路、光电显示、能源等领域有广泛应用。它们在晶体管、传感器、太阳能电池等方面发挥着重要作用。随...